پمپ خلا
پمپ خلأ ابزاریست که با تخلیه مولکول‌های هوا از یک محفظهٔ مشخص آب بندی شده، فشار منفی یا (خلأ نسبی) ایجاد می‌کند. این وسیله نخستین بار در سال ۱۶۵۰ میلادی توسط دانشمند آلمانی اتو وان گریکه و با انجام آزمایش نیمکره ماگدبورگ اختراع شد. از آن پس مدل‌های گوناگونی بر این اساس و برای استفاده‌های مختلف ساخته شده است.
پمپهای خلأ، با اتاقک‌ها و روش‌های عملیاتی گوناگون خود می‌توانند طیف گسترده‌ای از سیستم‌های خلأ را به وجود آورند. گاهی اوقات برای انجام کار مشخصی از بیش از یک پمپ استفاده می‌شود و این پمپ‌ها می‌توانند به صورت سری یا موازی در یک برنامهٔ واحد استفاده شوند. با استفاده از یک پمپ جابجایی مثبت که مقداری گاز را از دهانهٔ ورودی به کانال خروجی (اگزوز) منتقل می‌کند می‌توان یک خلاء جزئی، و یا خلاء تقریبی ایجاد کرد. به دلیل محدودیت‌های مکانیکی، این گونه پمپ‌ها تنها می‌توانند خلأ محدودی ایجاد کنند. برای رسیدن به یک خلاء بالاتر، می‌توان از روش‌های دیگر و گاهی هم افزودن پمپ دیگری به صورت سری استفاده کرد.
دستیابی به خلأ بالا کار دشواری است زیرا تمام مواد زمانی که در معرض خلأ قرار گیرند به شکلی واکنش نشان می‌دهند. تبخیر، آزاد شدن گازهای قبلاً جذب شده (جذب سطحی) و دیگر پدیده‌ها خلأ ایجاد شده را پر کرده و از رسیدن به میزان خلأ دل‌خواه جلوگیری می‌کنند. معمولاً تمام سطحی که با خلأ در تماس هستند باید در دمای بالا پخته شده باشند تا از میزان این گازها بکاهند.
